案例：LED和准分子激光的匀滑和整形

功能

需要的工具箱

基本

光栅

衍射光学

照明

微光学元件的分析和设计

微透镜阵列

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蝇眼聚光镜

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衍射扩散器

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单元阵列    光栅单元阵列

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            棱镜单元阵列

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            反射镜单元阵列

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由DOE产生的光分布

高帽

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平顶

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焦线

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二元二维强度分布

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任意二维强度分布

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点阵

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点线

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整形和匀滑

单色LED

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白光LED

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准分子激光

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常见光束整形推荐使用的工具箱

推荐的工具箱

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优化

局部和全局参数优化

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使用参数运行的全局优化

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迭代傅里叶变换算法（IFTA）

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单元阵列设计算法

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公差仿真

高度公差

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掩膜蚀刻深度公差

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边缘圆滑模拟

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对准误差

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波长误差

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远场和近场分布的变化

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由参数运行产生的实验系列

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加工数据的导出

GDSII文件

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CIF文件

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位图文件

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ASCII/.csv文件

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Point-Cloud文件

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STL文件

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蚀刻掩膜的计算

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自定义

可编程元件

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可编程探测器

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可编程光源

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MATLAB可编程界面

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C#可编程界面

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