最近抛光晶体砖硅材料时,遇到不少的麻烦。首先是硅是一个硬质、脆质材料,容易出道子,二是硅的抛光液容易对镜面腐蚀;三是抛光球面和非球面的方式不一样可能引起镜面的光洁度不好。
不过最终完成了硅非球面反射镜抛光,对于30mm口径的硅镜,用在红外波段,最终在ZYGO相位干涉仪上检到:
是这里有几项要注意:
1、选择合适PH值的抛光液;
2、在合适的温湿度下选择软硬合适的沥清;
3、对于非球面硅镜,在选择抛光盘大小时也要特别的小心,不然可能光洁度不好。
如果对这方面工艺需要探讨的同行,可以发信给我。
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